探针卡

摘要

本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。

主权项

一种探针卡，其收容多个探针，所述探针将作为检查对象的半导体晶片和生成检查用的信号的电路构造之间电连接，所述探针卡的特征在于，具备：平板状的配线基板，其具有与所述电路构造对应的配线图案；插入件，其层叠于所述配线基板，并转接所述配线基板的配线；空间变换器，其层叠在所述插入件上并由粘接剂进行粘接固定，变换由所述插入件转接的配线的间隔，并使该配线向与所述插入件对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头，其层叠于所述空间变换器，并收容保持所述多个探针；多个第一柱构件，该第一柱构件以从所述配线基板的表面中的层叠有所述插入件的部分的表面贯通所述配线基板的方式来埋入，且具有比所述配线基板的板厚更大的高度。