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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR101123987(B1)
申请公布日期
2012.03.23
申请号
KR20107020179
申请日期
2009.02.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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