发明名称 TESTING APPARATUS FOR THE SURFACE OF SEMICONDUCTOR AND TESTING METHOD FOR PIN-HOLE FORMED ON THE SURFACE OF SEMICONDUCTOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101126218(B1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 KR20100039570 申请日期 2010.04.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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