Plasma-Strahlungsquelle und Anordnung zur Erzeugung eines Gasvorhangs für Plasma-Strahlungsquellen

摘要

Plasma-Strahlungsquelle, die von einem Quellbereich in einer Vakuumkammer (1) ausgehende Strahlung in einen definierten Raumwinkel durch einen zur Debris-Unterdrückung vorgesehenen und durch einen Überschall-Gasstrahl (7) gebildeten Gasvorhang hindurch entlang einer Achse (X-X) der mittleren Ausbreitungsrichtung der Strahlung abstrahlt und bei der zur Erzeugung des Überschall-Gasstrahls (7) und zum Herausführen aus der Vakuumkammer (1) eine Gasstrahl-Vakuumpumpe (3) vorgesehen ist, bestehend aus einer auf der Achse (X-X) der mittleren Ausbreitungsrichtung angeordneten Treibdüse (2), einer koaxial zu der Achse (X-X) angeordneten und sich zu einem ringförmigen Hals (9) verjüngenden ringförmigen Mischdüse (8), deren Gaseintrittsöffnung auf die im Ringzentrum befindliche Treibdüse (2) weist, und einem vom Ringzentrum weggerichtet arbeitenden ringförmigen Diffusor (10), in den der ringförmige Hals (9) übergeht.