一种可调变光学衰减器及其制作方法

摘要

本发明为一种可调变光学衰减器及其制作方法，属于光学通信领域，其包括二氧化硅衬底及设于其上的外部二氧化硅上包层，外部二氧化硅上包层内部设有凹槽，外部二氧化硅上包层与凹槽之间设有侧沟槽，侧沟槽内充满热光材料，外部二氧化硅上包层、侧沟槽、凹槽的上部覆有封帽，凹槽底部设有波导芯，波导芯上部设有内部二氧化硅上包层，所述封帽内部与内部二氧化硅上包层相接处设有金属电极。通过在二氧化硅衬底上直接生长出波导芯，不仅减去了二氧化硅下包层的生长时间，缩短了产品的生长周期，而且降低了产品成本；另外，由于衬底和下包层为同种材料，消除了衬底对器件的应力影响，有效地降低了器件的偏振相关损耗。

主权项

一种可调变光学衰减器，包括二氧化硅衬底，其特征在于：所述二氧化硅衬底上设有外部二氧化硅上包层，所述外部二氧化硅上包层内部设有凹槽，所述外部二氧化硅上包层与凹槽之间设有侧沟槽，所述侧沟槽内充满热光材料，所述外部二氧化硅上包层、侧沟槽、凹槽的上部覆有封帽，所述凹槽底部设有波导芯，所述波导芯上部设有内部二氧化硅上包层，所述封帽内部与内部二氧化硅上包层相接处设有金属电极。