| 发明名称 | 单向控制阀、用于芯片制程的真空装置及防气体反冲方法 | ||
| 摘要 | 一种单向控制阀，包括设有真空管道连接口和真空泵连接口的腔体、设于腔体内活动覆盖真空管道连接口的挡板以及在真空泵不工作时推动挡板密封所述真空管道连接口的与挡板结合的弹性机构。防止气体中的尘埃反冲至真空管道以及连接真空管道的芯片制程腔体，提高芯片的制造的成功率，减少对芯片和芯片制程腔体的污染，提高芯片的品质，获得更高的经济效益。 | ||
| 申请公布号 | CN102374315A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
| 申请号 | CN201010260434.7 | 申请日期 | 2010.08.23 |
| 申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 潘家荣;孙建华;何亮 |
| 分类号 | F16K15/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | F16K15/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
| 主权项 | 一种单向控制阀，其特征在于，包括设有真空管道连接口和真空泵连接口的腔体、设于腔体内活动覆盖真空管道连接口的挡板以及在真空泵不工作时推动挡板密封所述真空管道连接口的与挡板结合的弹性机构。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 | ||