连续式真空溅镀设备之非接触式旋转装置

摘要

一种连续式真空溅镀设备之非接触式旋转装置，其中该溅镀设备具有一腔体，其中设置有一动力输出组；一载具放置于该动力输出组上，可受其驱动而在该腔体内移动；该载具上设置有至少一转动杆，其上可设置被镀物，该旋转装置包含有：一固定磁性件，设置于该腔体中，并沿该载具移动方向延伸；该固定磁性件具有N极、S极交错排列的磁区；以及每一转动杆上设置有一磁性轮，该磁性轮具有N极、S极交错排列之磁区；藉此，当该载具移动时，该磁性轮会越过该固定磁性件，但不与该固定磁性件接触，并受其影响而带动该转动杆转动。