基板贴合制程

摘要

本发明系关于一种基板贴合装置，其包括一真空腔、一第一静电吸盘、一工作台、一供气装置、一抽真空装置及一副真空腔，其中，该第一静电吸盘包括一开设有导气孔之吸盘主体，该工作台在进行基板贴合时系与该吸盘主体相对设置于该真空腔内，该供气装置通过一第一气体管路系统与该吸盘主体之导气孔连接，该抽真空装置通过一第二气体管路系统与该真空腔连接，该副真空腔通过一第三气体管路系统与该真空腔连接，且该副真空腔通过一第四气体管路系统与该抽真空装置连接。本发明还提供一种采用上述基板贴合装置之基板贴合制程。