细缝喷嘴及具备该细缝喷嘴之药液涂布装置

摘要

本发明系提供一种可平顺供给药液、易于维持装备状态的细缝喷嘴及具备该细缝喷嘴之药液涂布装置。;本发明系一种细缝喷嘴，系具备：形成有供流入药液之供给孔之第1胴体部；与前述第1胴体部相对向配置之第2胴体部；以及配置在前述第1及第2胴体部之间，使前述第1及第2胴体部隔离预定间隔之间隔件。在此，间隔件最好系在前述第1及第2胴体部之间形成与供给孔相连结的吐出口。