| 摘要 |
<p>3차원 형상 측정장치는 제1 조명부, 제2 조명부 및 격자이송유닛을 포함한다. 제1 조명부는 광을 발생시키는 제1 광원유닛 및 제1 광원유닛으로부터 발생된 광을 제1 격자무늬를 갖는 제1 격자 패턴광으로 변경시키는 제1 격자유닛을 포함한다. 제1 조명부는 제1 격자 패턴광을 제1 방향으로 측정 대상물에 조사한다. 제2 조명부는 광을 발생시키는 제2 광원유닛 및 제2 광원유닛으로부터 발생된 광을 제2 격자무늬를 갖는 제2 격자 패턴광으로 변경시키는 제2 격자유닛을 포함한다. 제2 조명부는 제2 격자 패턴광을 제1 방향과 다른 제2 방향으로 측정 대상물에 조사한다. 격자이송유닛은 제1 및 제2 격자유닛들을 격자무늬의 배치방향 및 연장방향과 경사진 방향으로 이송시킨다. 따라서, 비용을 절감하고 용이하게 관리할 수 있다.</p> |
