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<p>기판 이송 모듈을 포함하는 기판 처리 장치에서, 상기 기판 이송 모듈은 다수의 제1 회전축들 및 상기 제1 회전축들 중 하나의 상부에서 상기 제1 회전축들과 평행하게 연장하는 제2 회전축을 포함한다. 상기 제1 회전축들에는 기판을 이송하기 위한 다수의 롤러들이 장착되며, 서로 인접하는 제1 회전축과 제2 회전축의 양측 단부들에는 마그네틱 롤러들이 장착된다. 상기 기판의 에지 부위들은 마그네틱 롤러들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 파지될 수 있으며, 상기 제2 회전축은 상기 자기력에 의해 상기 제1 회전축들과 반대 방향으로 회전한다. 상기 기판은 마그네틱 롤러들에 의해 파지된 상태에서 상기 제1 및 제2 회전축들의 회전에 의해 이송된다.</p> |
