| 摘要 |
<p>또한 본 발명은, 레지스트 성분과 유기 용제를 포함하며, 이 유기 용제가 (a1) 알킬기의 탄소수가 2 이상인 모노프로필렌글리콜 알킬에테르, (a2) 디 또는 트리프로필렌글리콜 알킬에테르, (a3) 모노, 디 또는 트리프로필렌글리콜 아릴에테르, (a4) 1,3-부탄디올 또는 글리세린의 알킬에테르, (b1) 알킬기의 탄소수가 3 이상인 모노프로필렌글리콜 알킬에테르아세테이트, (b2) 디 또는 트리프로필렌글리콜 알킬에테르아세테이트, (b3) 모노, 디 또는 트리프로필렌글리콜 아릴에테르아세테이트, (b4) 1,3-부탄디올 또는 글리세린의 알킬에테르아세테이트, 및 (b5) C알칸폴리올아세테이트로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 레지스트 조성물을 제공한다.</p> |
