| 发明名称 | 一种电感耦合线圈及等离子体装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在半导体加工过程中电感耦合线圈及采用所述电感耦合线圈的等离子体装置，其设计要点在于电感耦合线圈至少包括两个完全相同的分支，每个分支由内线圈(7)和外线圈(8)组成，内、外线圈的绕向相反且内线圈(7)的末端与外线圈(8)的始端通过连接段(9)串联连接，各个分支的内、外线圈分别对称嵌套且共面。工作中，流过这种线圈内圈的RF电流与流过外圈的RF电流反向，于是在反应室里产生分布均匀的电磁场，从而获得分布均匀的等离子体；根据晶片尺寸可以很容易地通过增加线圈的长度和圈数来获得大面积的等离子体和改善大面积工艺中等离子体的均匀性，使晶片表面发生的化学反应速率差异较小，提高晶片产品的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN101465189B | 申请公布日期 | 2012.03.07 |
| 申请号 | CN200710179698.8 | 申请日期 | 2007.12.17 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 韦刚 |
| 分类号 | H01F5/00(2006.01)I;H01F38/14(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;H05H1/50(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01F5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 王建国 |
| 主权项 | 一种电感耦合线圈，所述电感耦合线圈至少包括两个完全相同的分支，每个分支由内线圈(7)和外线圈(8)组成，其特征在于，内、外线圈的绕向相反且内线圈(7)的末端与外线圈(8)的始端通过连接段(9)串联连接，各个分支的内、外线圈分别对称嵌套且共面，从而削弱了反应室内中心处电磁场的强度；所述每个分支的内线圈(7)和外线圈(8)均为螺旋线形；或所述每个分支的内线圈(7)为弧形，外线圈(8)为螺旋线形，每个分支的外线圈(8)由多段曲率半径依次增大的弧形线圈通过外线圈连接段(15)串接而成。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 | ||