| 摘要 |
<p>이를 위해 본 발명은, 포토레지스트를 기판 상에 형성하는 포토레지스트 형성부; 상기 포토레지스트 형성부로부터 포토레지스트가 형성된 기판을 제공받아 상기 포토레지스트를 진공 상태에서 경화시키는 경화부; 상기 경화부의 후공정 위치에 구비되며, 상기 포토레지스트가 경화된 기판을 제공받아 원하는 패턴으로 노광하는 노광부; 상기 포토레지스트 형성부와 상기 경화부 사이의 공정 위치에 구비되며, 상기 기판을 건조시키도록 구성된 기판 건조부; 그리고, 상기 포토레지스트 형성부와 경화부와 노광부와 기판 건조부 등의 각 구성 요소들로 기판을 반입 및/혹은, 반출하는 하나 이상의 로더부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 제조 장비를 제공한다.</p> |
