VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KOPLANARER VIELLAGEN-METALL-ISOLATOR-SCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT.,申请号DE19863669016-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KOPLANARER VIELLAGEN-METALL-ISOLATOR-SCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号	DE3669016(D1)	申请公布日期	1990.03.15
申请号	DE19863669016	申请日期	1986.10.17
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	CHOW, MELANIE MIN-CHIEH, POUGHQUAG, N.Y. 12570, US;CRONIN, JOHN EDWARD, MILTON, VT. 05468, US;GUTHRIE, WILLIAM LESLIE, HOPEWELL JUNCTION, N.Y. 12533, US;KAANTA, CARTER WELLING, ESSEX JUNCTION, VT. 05452, US;LUTHER, BARBARA JEAN, DEVON, PA. 19333, US;PATRICK, WILLIAM JOHN, NEWBURGH, N.Y. 12550, US;PERRY, KATHLEEN ALICE, LAGRANGEVILLE, N.Y. 12540, US;STANDLEY, CHARLES LAMBERT, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12 590, US
分类号	H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;H05K3/04;H05K3/10;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/90	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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