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发明名称 A METHOD FOR FORMING A CONDUCTOR PATTERN
摘要
申请公布号 EP0178619(B1) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 EP19850113017 申请日期 1985.10.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KISHITA, YOSHIHIRO;FURUKAWA, MOTOKI;MITANI, TATSURO
分类号 H01L21/338;H01L21/027;H01L21/3213 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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