发明名称 Crosslinked fluorinated poly(arylene ether)
摘要 Fluorinated poly(arylene ethers) having a repeat unit such as <IMAGE> are useful as dielectric materials in multilayer interconnects in integrated circuit chips and multichip modules and as protective materials for chips.
申请公布号 US5204416(A) 申请公布日期 1993.04.20
申请号 US19920864804 申请日期 1992.04.07
申请人 RAYCHEM CORPORATION 发明人 MERCER, FRANK W.;SOVISH, RICHARD C.
分类号 C08G65/40;C08G75/23;C08L71/00;C08L81/06;H01L23/29;H01L23/498;H01L23/532;H05K1/00;H05K1/03 主分类号 C08G65/40
代理机构 代理人
主权项
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