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发明名称
摘要
申请公布号
JP4886106(B2)
申请公布日期
2012.02.29
申请号
JP20000225833
申请日期
2000.07.26
申请人
发明人
分类号
C01B33/06;C23C14/34;C23C14/06;H01L21/203;H01L21/285
主分类号
C01B33/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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