一种用于硅片切割的砂浆喷流装置

摘要

本发明提供了一种用于硅片切割的砂浆喷流装置，包括外套管，内管，所述内管安装在所述外套管内，所述内管与外管之间设有环隙，内管沿着管轴线的方向设有多个通孔，外套管沿轴线方向设有狭缝，还包括搅拌装置，所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌轴一端轴向设置在内管内，另一端延伸在外套管外，所述搅拌叶固定设置在搅拌轴上，工作时，搅拌装置的搅拌轴低速转动，使搅拌叶对砂浆进行搅拌，使砂浆中的磨料颗粒处于悬浮状态，并且分布更加均匀，从而，使喷射出的砂浆密度更加均匀，避免硅片切割过程中的损坏，从而，提高了硅片的合格率及质量；且本发明结构简单。

主权项

一种用于硅片切割的砂浆喷流装置，包括外套管，内管，所述内管安装在所述外套管内，所述内管与外管之间设有环隙，内管沿着管轴线的方向设有多个通孔，外套管沿轴线方向设有狭缝，其特征在于，还包括搅拌装置，所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌轴一端轴向设置在内管内，另一端延伸在外套管外，所述搅拌叶固定设置在搅拌轴上。