发明名称 METHOD FOR FORMING A BRITTLE ZONE IN A SUBSTRATE BY CO-IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR101116540(B1) 申请公布日期 2012.02.28
申请号 KR20057008062 申请日期 2003.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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