发明名称 |
用于ZnO膜、纳米结构和体单晶的水性合成的低温连续循环反应器 |
摘要 |
本发明涉及合成ZnO的方法,所述方法包含使经ZnO饱和的生长溶液在含有衬底或晶种的较温热沉积区与含有ZnO源材料的较冷溶解区之间连续循环。 |
申请公布号 |
CN102362335A |
申请公布日期 |
2012.02.22 |
申请号 |
CN201080013116.9 |
申请日期 |
2010.04.15 |
申请人 |
加利福尼亚大学董事会 |
发明人 |
弗雷德里克·F·兰格;雅各布·J·理查森 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;B01J23/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
章蕾 |
主权项 |
一种制造ZnO的方法,其包含(a)在第一温度下使用水溶液组合物溶解含锌营养物(nutrient);和(b)在第二温度下合成所述ZnO,其中合成所述ZnO的所述第二温度比溶解所述营养物的所述第一温度高或温热,且所述ZnO的所述合成是由所述ZnO在所述第二较温热温度下在所述水溶液组合物中的溶解度相比在所述第一较冷温度下的溶解度降低引起的。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |