一测试图案及评估测试图案转移性质的方法

摘要

本发明有关一测试图案(1)、一组测试图案(13)、一评估测试图案之转移性质的方法以及决定一转移制程之至少一参数的方法。藉由本发明之测试图案(1)，可分析在转移图案上线缘平整度的影响。详言之，测试图案(1)为基于线/间隔图案，其中具有一定义明确的周期及波幅之周期结构(3)为相邻及连接于线(2)。本发明进一步有关于评估此一测试图案(1)之转移性质的方法。此外，本发明有关决定转移制程至少一参数的方法，如一使用此一测试图案(1)的影像制程。