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发明名称
氮化铝烧结体
摘要
本发明系藉由极力减少氮化铝烧结体中的气孔,以提供一种均热性优之承座体。;本发明之氮化铝烧结体系将含有之铋与氯的量控制于一定值以下。亦即,以氮化铝作为主成份之氮化铝烧结体,其特征在于:氮化铝烧结体中之铋的含量为30 ppm以下,且氯之含量为100 ppm以下。前述氮化铝烧结体中宜形成电阻发热体,且宜使用来作为半导体加热用零件。
申请公布号
TWI358401
申请公布日期
2012.02.21
申请号
TW094126536
申请日期
2005.08.04
申请人
住友电气工业股份有限公司 日本
发明人
夏原益宏;新间健司;仲田博彦
分类号
C04B35/581
主分类号
C04B35/581
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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