应用条纹反射法量测物体表面形貌的方法

摘要

本发明系一种应用条纹反射法量测物体表面形貌的方法，其步骤主要系利用电脑以相位移手段产生条纹影像显示于萤幕上，并令萤幕显示的条纹影像投射至平面镜上，再以影像撷取手段撷取自该平面镜反射的条纹影像，之后，将待测物件放置于该平面镜上，令萤幕上所显示的条纹影像投射至该待测物件上，并以影像撷取手段撷取自该待测物件上反射之条纹影像；再利用电脑以相位移法及相位展开手段分析该些条纹的相位变形，并推算得知斜率后经几何或向量解析手段运算而得到该待测物件表面形貌，藉此，提供一种可应用于物体表面正确量测形貌的光学自动量测方法。