| 摘要 |
Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit organischen Materialien, wobei das organische Material, bestehend aus einer Pulvermischung aus dem zu verdampfenden organischen Material und einem pulverförmigen, chemisch inerten Material als wärmeübertragendes Absorptionsmaterial, in einer Verdampfungschieden wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdampfung des Verdampfungsguts durch Eintrag von Mikrowellenstrahlung in die Pulvermischung des Verdampfungsguts in einer Verdampfungszone erfolgt, welche zumindest einen Teil des Verdampfungsguts umfasst und in Abhängigkeit von der Eindringtiefe der Mikrowellenstrahlung ausgebildet wird.
|
