| 摘要 |
Verfahren zur bildgestützten Kontrolle von Bearbeitungsprozessen mit einem hochenergetischen Bearbeitungsstrahl (2) unter Einsatz wenigstens eines ortsauflösenden Detektors (9) und mindestens einer vom Bearbeitungsstrahl (2) unabhängigen Beleuchtungsquelle (7.1, 7.2, 7.3) zur Beleuchtung einer Wirkzone des Bearbeitungsstrahls (2) auf einer Oberfläche eines Werkstücks (6) und deren Umgebung, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Detektor (9) nacheinander Bilder unterschiedlicher Lichtverhältnisse aufnimmt, die gemeinsam zur Beurteilung von Prozessmerkmalen ausgewertet werden. |
