用于组装光学元件之零件套组、组装光学元件之方法、光学元件、微影装置及装置制造方法

摘要

一种用于组装用在一微影装置中之光学元件之零件套组，其包含可将光导入辐射系统之瞳孔平面个别区域及／或改变入射辐射的极化状态之大量不同小型零件。选择先前所制造的零件，并将其组装成一光学元件，以迅速创造一所需亮度分布。亦可拆解该光学元件，并重新使用此等零件。