摘要 |
Drehbewegungssensor – mit mindestens einem elektroakustischen Resonator, in dem eine akustische Oberflächenwelle anregbar ist, – wobei eine Drehbewegung des Resonators um eine Drehachse die Änderung der Resonanzfrequenz des Resonators bewirkt, – mit Schwingstrukturen (30), die in Wellenausbreitungsrichtung (x) und/oder Transversalrichtung (y) schwingfähig sind, – wobei die Schwingstrukturen (30) turmartig ausgebildet sind.
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