发明名称 Asymmetric slit diaphragm and device and method for producing same
摘要
申请公布号 EP2333786(B1) 申请公布日期 2012.02.15
申请号 EP20090178329 申请日期 2009.12.08
申请人 BAM BUNDESANSTALT FUER MATERIALFORSCHUNG UND -PRUEFUNG 发明人 OSTERLOH, KURT, DR. RER. NAT.;ZSCHERPEL, UWE, DR. RER. NAT.;EWERT, UWE, PROF. DR.
分类号 G21K1/02 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
主权项
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