离子真空镀钛组合物的方法

摘要

一种离子真空镀钛组合物的方法，靶材为钛材，靶材的两端均施加独立工作的弧源电源，每个弧源电源分别进行电压高低或弧源电流大小的控制，即弧源电源电压高低或弧源电流大小的的变化分别施加于靶材的两端，根据两端施加的弧源电源电压的高低或弧源电源电流大小的控制，离子引弧能够均匀或任意方式移动，控制靶材每处引弧的离子量。采用钛棒镀钛金板、玫瑰金板和黑钛板。本发明提出一种高质量各种离子真空镀钛组合物的方法与装置，并采用非机械磁体控制方式，离子引弧能够均匀或任意方式移动，控制靶材每处引弧的离子量，离子镀层细腻。

主权项

一种离子真空镀钛组合物的方法，其特征是靶材为钛材，靶材的两端均施加独立工作的弧源电源，每个弧源电源分别进行电压高低或弧源电流大小的控制，即弧源电源电压高低或弧源电流大小的的变化分别施加于靶材的两端，根据两端施加的弧源电源电压的高低或弧源电源电流大小的控制，离子引弧能够均匀或任意方式移动，控制靶材每处引弧的离子量。