二氧化碳激光波长测量装置

摘要

本发明公开了一种二氧化碳激光波长测量装置，包括光学系统、电子系统和扫描系统，二氧化碳激光光束通过入射狭缝，经第一准直球面反射镜、聚焦球面反射镜反射成平行光束投向由步进电机通过正弦机构控制转动的平面衍射光栅上，得到波长与平面衍射光栅转动角度成正弦关系的衍射光束，该衍射光束经物镜、第二准直球面反射镜和出射狭缝到达碲鎘汞探测器，通过出射狭缝的出射光信号经碲鎘汞探测器变换为电信号，经放大、A/D变换，由计算机处理测得二氧化碳激光波长。本发明的有益效果是，克服了现有二氧化碳激光波长测量装置的缺点，具有功能强大，性价比高、测量精度高、测量速度快、操作简单等特点，而且体积小巧，方便集成到系统中进行在线监测。

主权项

一种二氧化碳激光波长测量装置，其特征在于，该装置主要包括光学系统、电子系统和扫描系统，所述的光学系统包括聚焦球面反射镜（1）、物镜（2）、入射狭缝（3）、第一准直球面反射镜（4）、平面衍射光栅（5）、第二准直球面反射镜（6）、出射狭缝（7）和碲鎘汞探测器（8）；所述的电子系统主要包括前置放大器（9）、计算机（10）、A/D变换器（11）和D/A变换器（12）；所述扫描系统由步进电机（13）和正弦机构（14）组成，正弦机构（14）通过丝杠与平面衍射光栅（5）相连接；由二氧化碳激光光源发出的光束进入入射狭缝（3），入射狭缝（3）位于聚焦球面反射镜（1）的焦面上，通过入射狭缝（3）射入的光束经第一准直球面反射镜（4）、聚焦球面反射镜（1）反射成平行光束投向由步进电机通过正弦机构（14）控制转动的平面衍射光栅（5）上，得到波长与平面衍射光栅（5）转动角度成正弦关系的衍射光束，该衍射光束经物镜（2）、第二准直球面反射镜（6）和出射狭缝（7）到达碲鎘汞探测器（8），通过出射狭缝（7）的出射光信号经碲鎘汞探测器（8）变换为电信号，电信号经前置放大器（9）放大经A/D变换器（11）将模拟量转换数字量，由计算机（10）处理测得二氧化碳激光波长。