一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置

摘要

本发明公开了一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、真空探测器高压BNC。本发明能够有效提高仪器关键部件使用寿命和拓展设备的功能，延长了扫描灯丝的使用寿命，改善了真空环境，从技术约束真空获取设备和真空室一些其他设备的开启时序关系。

主权项

一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，其特征在于：包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，所述220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，所述直流电源模块输入接入220V交流源，直流电源模块输出接入时序组合开关装置以供电，所述时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、连接在高压干簧继电器输出线上的真空探测器高压BNC，所述直流电源模块输出接入延时时间可调继电器输入端，延时时间可调继电器的输出通过二极管接入高压干簧继电器输入端，所述真空探测器高压BNC接入扫描电子显微镜的潘宁规真空计中。