一种大口径离轴非球面测量和标定系统

摘要

一种大口径离轴非球面测量和标定系统，包括一台干涉仪、标准镜头、两个平凹透镜、一个直角反射棱镜、一块标准平面反射镜以及需要测量或者标定的离轴非球面组成。从干涉仪发射出来的标准平行光，经过标准镜头后会聚于需要测量或者标定的离轴非球面的焦点上，再经过离轴非球面的反射后变成平行光并由标准平面反射镜沿原光路反射回来，最后由干涉仪的图像处理软件对大口径离轴非球面的面形进行分析处理，完成大口径离轴非球面测量。而同样从干涉仪中心发射出的细光束，沿着主光轴方向入射到第一个平凹透镜上，透射后进入直角反射棱镜，并经其反射后偏转90°，入射到第二个平凹透镜上，最后经过离轴非球面表面矢高的最低点与最高点射出，移动标准平面反射镜使这一束光沿原路返回，可保证各个元器件的中心在同一高度，并可根据已知条件完成大口径离轴非球面的几何参数测量与标定。

主权项

一种大口径离轴非球面测量和标定系统，其特征在于包括：干涉仪(7)、标准镜头(6)、第一平凹透镜(5)、第二平凹透镜(3)、直角反射棱镜(4)、标准平面反射镜(1)及需要测量或者标定的离轴非球面(2)；所述标准镜头(6)的相对口径与被测的离轴非球面(2)的相对口径一致；从干涉仪(7)发射出来的标准平行光，经过标准镜头(6)后会聚于需要测量或者标定的离轴非球面(2)的焦点上，再经过大口径离轴非球面(2)的反射后变成平行光并再经过标准平面反射镜(1)后沿原光路反射回来，最后由干涉仪(7)对大口径离轴非球面(2)的面形进行分析处理，得到大口径离轴非球面(2)的表面信息，完成大口径离轴非球面(2)测量；而同样从干涉仪(7)中心发射出的一束光，该一光束通过在干涉仪前加一光阑得到，其光束直径由光阑的孔径决定，该孔径小于Φ1mm，在没有标准镜头时，沿着主光轴方向入射到第一平凹透镜(5)上，透射后进入直角反射棱镜(4)，并经直角反射棱镜(4)反射后偏转90°，入射到第二平凹透镜上(3)，最后通过离轴非球面(2)表面矢高的最低点与最高点射出，移动标准平面反射镜(1)使这一束光沿原路返回，保证各个元器件的中心在同一高度，并根据已知条件，即两个平凹透镜的凹面半径R1和R2以及直角反射棱镜的边长D，完成大口径离轴非球面(2)的几何参数测量与标定。