成膜装置

摘要

提供能对仍装设于成膜加工用模具上之基材进行成膜加工之成膜装置。;本发明之成膜装置具有：筒状之框体(1h)，一端以底部封闭，另一端敞开；配设于该底部内面之靶(1a)；及以贯穿框体(1h)壁部之方式形成之出入口(3b)。