多晶矽控制的回蚀刻显示器

摘要

该发明公开了一种生产电子线路的半导体晶圆。这种半导体基片进一步包括一个回蚀刻显示器，该显示器包括有不同尺寸的沟槽，沟槽中充填有多晶矽。然后，多晶矽又从那些较大平面尺寸的沟槽中全部清除，但在那些较小平面尺寸的沟槽底部仍然保留有多晶矽。