Mikromechanisches System mit Temperaturstabilisierung

摘要

Mikromechanisches System, mit folgenden Merkmalen: einer Mehrzahl von Federn (7); einer mikromechanischen Funktionsstruktur (3), die an den Federn (7) aufgehängt ist; und einer elektromagnetischen Strahlungsheizung (5), die so zu der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) angeordnet ist, dass die elektromagnetische Strahlungsheizung (5) mit ihrem Strahlungsfeld (4) Teilbereiche einer der elektromagnetischen Strahlungsheizung (5) zugewandten Oberfläche der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) oder die gesamte, der elektromagnetischen Strahlungsheizung (5) zugewandte Oberfläche der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) direkt bestrahlt, um einen räumlich und/oder zeitlich vorbestimmten Temperaturverlauf an Teilbereichen der mikromechanischen Funktionsstruktur (3) oder an der gesamten mikromechanischen Funktionsstruktur (3) über die Strahlungsheizung (5) einzustellen.