| 发明名称 | 一种通过阀开度判断刻蚀终止点的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及PECVD设备刻蚀领域，具体为一种通过阀开度判断刻蚀终止点的方法，它是在PECVD设备进行腔体刻蚀清洗时，判断清洗完成的方法。需要判断刻蚀终止点的腔体与排气管道连通，排气管道上设有阀，通过排气管道上阀的开度来判断刻蚀终止点。刻蚀时，压强不变，通过排气管道上阀的开度来判断刻蚀终止点。本发明方法简单、方便、可靠性高，解决现有技术中存在的成本较高等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN102339773A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201010238711.4 | 申请日期 | 2010.07.28 |
| 申请人 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 发明人 | 林英浩 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 张志伟 |
| 主权项 | 一种通过阀开度判断刻蚀终止点的方法，其特征在于：需要判断刻蚀终止点的腔体与排气管道连通，排气管道上设有阀，通过排气管道上阀的开度来判断刻蚀终止点。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号 | ||