连续扩散处理装置

摘要

本发明提供一种连续扩散处理装置，能降低能量损耗，并能兼顾提高生产效率和提高处理质量。本发明的连续扩散处理装置包括：输送台(50)，输送板状的被处理件；筒形的加热炉(1)，呈直线状延伸；输送装置(2)，通过把输送台(50)一个一个地推入加热炉(1)内来输送输送台，使以前送入到加热炉(1)内的输送台(50)呈列状地在加热炉(1)内移动；多个第一隔壁构件(7)，将从加热炉(1)内的送入口(11)到送出口(12)之间划分为多个处理区。输送装置(2)使输送台(50)以处理区为单位间歇移动。输送台(50)具备第二隔壁构件(54)，它封闭第一隔壁构件(7)的开口(7c)，并把相邻的处理区之间隔开。

主权项

一种连续扩散处理装置，其特征在于，对板状的被处理件进行扩散处理，所述连续扩散处理装置包括：输送台，装载并输送多个所述被处理件；筒形的加热炉，从送入所述输送台的送入口到送出所述输送台的送出口呈直线状延伸，并且在内部进行扩散处理；移动装置，通过把所述输送台一个一个地从所述送入口推入所述加热炉内来输送所述输送台，利用送入的所述输送台把以前送入到所述加热炉内的输送台推向所述送出口一侧，使多个所述输送台呈列状地在所述加热炉内移动；以及多个第一隔壁构件，设在所述加热炉内，并且形成有所述输送台能通过的开口，将从所述送入口到所述送出口之间划分为多个处理区，该多个处理区的尺寸被设定成与所述输送台的沿移动方向的长度尺寸大体相同，所述移动装置通过把所述输送台一个一个地推入所述加热炉内，使呈列状排列的各输送台以所述处理区为单位间歇移动，所述输送台在输送方向上的至少一端一侧具备第二隔壁构件，该第二隔壁构件在所述输送台在所述处理区静止时封闭所述多个第一隔壁构件的所述开口，并把相邻的处理区之间隔开。