基于H⁺敏感的Ta₂O₅材料EIS结构、制备和pH在线检测方法

摘要

本发明涉及一种H+敏感的Ta2O5材料EIS结构、制备和pH在线检测方法，其特征在于所述的EIS结构自上而下由H+敏感材料层、绝缘体层、半导体层和导电Al层四层组成；其中H+敏感材料层为Ta2O5，绝缘体层为SiO2，半导体层为双面抛光P-Si，导电层为金属Al。所述EIS结构式用MEMS工艺制作，使用EIS结构进行pH在线检测方法是以插入敏感层中的商用Ag/AgCl电极作为参比电极，EIS结构另一面的Al层作为工作电极，基于阻抗谱和测试不同pH下相同扫描条件下的电容-电压曲线，找到合适的电容值，从而得到pH-V的对应关系，直接检测电压值即可进侧出pH值。利用本发明提供的EIS结构，制作的pH传感器体积小，便于携带，并可长时间进行pH在线检测。

主权项

一种基于H+敏感的Ta2O5材料的EIS结构，其特征在于所述的结构自上而下由H+敏感材料层、绝缘体层、半导体层和导电Al层四层组成；其中H+敏感材料层为Ta2O5，绝缘体层为SiO2，半导体层为双面抛光P‑Si，导电层为金属A1。