| 发明名称 | 一种防止反应室反气的装置及方法 | ||
| 摘要 | 一种防止反应室反气的装置及方法，该装置包括有反应室，和反应室相连通的尾气泵，在反应室和尾气泵之间设有单向阀，该方法为在反应室和尾气泵之间安装单向阀；当发生紧急停电时，设在蝶阀与尾气泵之间的单向阀能够在第一时间将尾气阻挡在反应室外边，防止反应室被污染，具有结构及操作简单、价格低廉、节约能源的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN102337519A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201110273693.8 | 申请日期 | 2011.09.15 |
| 申请人 | 西安中为光电科技有限公司 | 发明人 | 刘波波;王省莲;张超奇;陈明 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 弋才富 |
| 主权项 | 一种防止反应室反气的装置，包括有反应室(1)，和反应室(1)相连通的尾气泵(7)，其特征在于：在反应室(1)和尾气泵(7)之间设有单向阀(6)。 | ||
| 地址 | 710065 陕西省西安市电子城电子西街3号 | ||