多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置及方法

摘要

多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置及方法，涉及一种测量玻璃厚度的装置及方法。它解决现有采用多光束激光外差测量微冲量的方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明通过在光路中加入振镜，振镜在做匀加速振动，对不同时刻入射到其前表面的光进行频率调制，把待测的玻璃厚度信息加载到外差信号二次谐波的频率差中，进而待测玻璃厚度信息。本发明适用于测量玻璃厚度。

主权项

多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置，其特征是：它包括H0固体激光器(1)、偏振分束镜PBS(2)、四分之一波片(3)、振镜(4)、平面反射镜(5)、待测厚玻璃板(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)，H0固体激光器(1)发出的线偏振光经偏振分束镜PBS(2)反射后入射至四分之一波片(3)，经所述四分之一波片(3)透射后的光束入射至振镜(4)的光接收面，经所述振镜(4)反射的光束再次经四分之一波片(3)透射后发送至偏振分束镜PBS(2)，经该偏振分束镜PBS(2)透射后的光束入射至平面反射镜(5)的反射面，经该平面反射镜(5)反射后的光束入射至待测厚玻璃板(6)前表面，经该待测厚玻璃板(6)前表面透射的光束在该待测厚玻璃板(6)内，经该待测厚玻璃板(6)后表面与前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该待测厚度玻璃板(6)的前表面透射之后与经该待测厚玻璃板(6)前表面反射后的光束均通过会聚透镜(7)汇聚至光电探测器(8)的光敏面上，所述光电探测器(8)输出电信号给信号处理系统(9)。