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发明名称 Apparatus for mass-producing sulicon-based thin film and method for mass-producing silicon-based thin film
摘要
申请公布号 EP2107592(A3) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 EP20090250883 申请日期 2009.03.27
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 IMAEDA, MINORU;IMANISHI, YUICHIRO;SAITO, TAKAO
分类号 H01J37/32;C23C16/54 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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