摘要 |
Antriebsendblock (2) für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target, umfassend ein Endblockgehäuse (22) mit einer in dem Endblockgehäuse (22) angeordneten, drehbar gelagerten Antriebswelle (26), die an ihrem von außerhalb des Endblockgehäuses (22) zugänglichen Ende zur Verbindung mit dem rotierenden Target (3) ausgebildet ist und die an ihrem innerhalb des Endblockgehäuses (22) liegenden Ende zur Einleitung eines Drehmoments ausgebildet ist, und einen Elektromotor (4) mit einem Stator (42) und einem Rotor (43) zur Erzeugung eines Drehmoments, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektromotor (9) innerhalb des Endblockgehäuses (22) angeordnet ist.
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