发明名称 Antriebsendblock für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target
摘要 Antriebsendblock (2) für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target, umfassend ein Endblockgehäuse (22) mit einer in dem Endblockgehäuse (22) angeordneten, drehbar gelagerten Antriebswelle (26), die an ihrem von außerhalb des Endblockgehäuses (22) zugänglichen Ende zur Verbindung mit dem rotierenden Target (3) ausgebildet ist und die an ihrem innerhalb des Endblockgehäuses (22) liegenden Ende zur Einleitung eines Drehmoments ausgebildet ist, und einen Elektromotor (4) mit einem Stator (42) und einem Rotor (43) zur Erzeugung eines Drehmoments, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektromotor (9) innerhalb des Endblockgehäuses (22) angeordnet ist.
申请公布号 DE102008033904(B4) 申请公布日期 2012.01.19
申请号 DE200810033904 申请日期 2008.07.18
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 HEINRICH, HANS-JUERGEN;HAEHNE, SVEN
分类号 H01J37/34;C23C14/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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