| 发明名称 | 广视角液晶显示器阵列基板制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种广视角液晶显示器阵列基板制作方法，所述方法包括：提供一基板，在所述基板上依次形成透明导电薄膜和栅极金属层；在所述基板上涂布光敏材料，使用半色调掩膜版进行曝光并显影，形成不同厚度的光敏材料图形；在所述形成不同厚度的光敏材料图形的基板上，进行刻蚀形成第一透明电极；对所述形成透明电极的基板进行脱膜，去除光敏材料，形成栅极；依次在所述形成第一透明电极和栅极的基板上制作有源层、源漏极、保护层和第二透明电极。 | ||
| 申请公布号 | CN102315167A | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN201110264229.2 | 申请日期 | 2011.09.07 |
| 申请人 | 信利半导体有限公司 | 发明人 | 郝付泼;谢凡;胡君文;于春崎;李建华 |
| 分类号 | H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/77(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种广视角液晶显示器阵列基板制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供一基板，在所述基板上依次形成透明导电薄膜和栅极金属层；在所述基板上涂布光敏材料，使用半色调掩膜版进行曝光并显影，形成不同厚度的光敏材料图形；在所述形成不同厚度的光敏材料图形的基板上，进行刻蚀形成第一透明电极；对所述形成透明电极的基板进行脱膜，去除光敏材料，形成栅极；依次在所述形成第一透明电极和栅极的基板上制作有源层、源漏极、保护层和第二透明电极。 | ||
| 地址 | 516600 广东省汕尾市城区工业大道信利电子工业城 | ||