一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法及装置，该测量方法为：1)激光探针在XY平面内沿规划路径运动；2)测量过程中，计算机实时连续采集激光探针的数据；3)实时比较、计算激光探针的数据与量程中心的差值；4)将计算所得的差值实时传递给CNC控制系统；5)CNC系统控制激光探针，使其在Z轴方向与被测工件做相对移动，使在量程之外的被测工件，运动到激光探针量程范围内。本发明可以自动调节被测工件与激光探针的相对位置，使被测工件在测量过程中始终位于激光探针测量范围内，从而对高精度、大量程的TFT基板玻璃厚度和翘曲度进行快速、准确、自动测量。

主权项

一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，建立XYZ坐标系，设XY平面为水平面，将待测TFT基板玻璃平放于XY平面内；设置与计算机连接的激光探针，使激光探针的轴向与Z轴平行，且所述激光探针受到CNC控制系统的控制，能够在X、Y、Z轴方向上进行位移；步骤二，使激光探针在XY平面内跟据测量的要求，按照逐行渐进扫描的方式进行运动，对待测TFT基板玻璃进行测量；步骤三，测量过程中，使计算机实时连续采集所述激光探针的数据；步骤四，计算机实时计算激光探针采集的数据与激光探针的量程中心的差值Δz；步骤五，将上述计算所得的差值Δz实时传递给CNC控制系统，CNC控制系统根据差值Δz以及上次激光探针的Z轴坐标确定本次激光探针的Z轴坐标；步骤六，CNC系统控制激光探针，使激光探针在Z轴方向与被测TFT基板玻璃做相对移动，使在量程之外的被测TFT基板玻璃运动到激光探针的量程范围内。