紫外线照射装置、紫外线照射方法、紫外线照射装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种紫外线照射装置，具有：金属卤化物灯，金属卤化物灯具有筒状的、石英玻璃材料的发光管；双层管，双层管具有筒状的、石英玻璃材料的作为第1管的内管和筒状的、石英玻璃材料的作为第2管的外管，内管被设置于以筒状包围金属卤化物灯的发光管的位置，外管被设置于以筒状包围内管的位置，第1管和第2管之间的空间为被封闭的空间以使得流体能够在第1管和第2管之间的空间内流动；以及含有钛的氧化膜，氧化膜形成设置于双层管的外管的外表面上，或者形成设置于双层管的内管的与金属卤化物灯相对的面上，膜厚为0.3μm以上、1.3μm以下。本发明还公开了紫外线照射方法、以及紫外线照射装置的制造方法。

主权项

一种紫外线照射装置，其特征在于，具有：金属卤化物灯，所述金属卤化物灯具有筒状的、石英玻璃材料的发光管；双层管，所述双层管具有筒状的、石英玻璃材料的作为第1管的内管和筒状的、石英玻璃材料的作为第2管的外管，所述内管被设置于以筒状包围所述金属卤化物灯的所述发光管的位置，所述外管被设置于以筒状包围所述内管的位置，所述第1管和所述第2管之间的空间为被封闭的空间以使得流体能够在所述第1管和所述第2管之间的所述空间内流动；以及含有钛的氧化膜，所述氧化膜形成设置于所述双层管的所述外管的外表面上，或者形成设置于所述双层管的所述内管的与所述金属卤化物灯相对的面上，膜厚为0.3μm以上、1.3μm以下。