用于微位相差膜热处理的多光束激光装置

摘要

本发明提供一种用于微位相差膜热处理的多光束激光装置，所述的装置以激光加热方式制作相互交错的两不同位相区域的微位相差膜，其包含一红外线激光光源、一多光束模块和一第一驱动装置。该多光束模块将该红外线激光光源光束分成复数道强度相当的平行光束并做聚焦。该第一驱动装置为该多光束模块提供一扫描方向，其中该多光束模块依该扫描方向在该位相差膜的一表面上扫描出一组复数条平行扫描线。

主权项

一种用于微位相差膜热处理的多光束激光装置，其特征在于，所述的装置包含：一红外线激光光源；一多光束模块，将所述的红外线激光光源的光束分成复数道强度相当的平行光束并做聚焦；以及一第一驱动装置，为所述的多光束模块提供一扫描方向，其中所述的多光束模块依所述的扫描方向可在所述的位相差膜的一表面上扫描出一组复数条平行扫描线。