发明名称 PTCDA/P-Si异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片
摘要 本实用新型公开了一种PTCDA/P-S异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片,包括铝电极层、P-Si衬底、PTCDA层和ITO膜,ITO膜的表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的镍柱;镍柱的表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的铝柱。该镍柱和铝柱形成低阻欧姆电极,经测试该低阻欧姆电极的比接触电阻为2.3×10-5Ω.cm2,能有效地改善光电探测器的光电特性,提高光电探测器的稳定性及可靠性。
申请公布号 CN202094178U 申请公布日期 2011.12.28
申请号 CN201120070565.9 申请日期 2011.03.17
申请人 甘肃联合大学 发明人 张旭
分类号 H01L51/42(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L51/46(2006.01)I 主分类号 H01L51/42(2006.01)I
代理机构 甘肃省知识产权事务中心 62100 代理人 田玉兰
主权项 一种PTCDA/P‑Si异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片,包括依次叠层的铝电极层(6)、P‑Si衬底(5)、PTCDA层(4)和ITO膜(3),其特征在于,所述的ITO膜(3)表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的镍柱(2);所述的镍柱(2)表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的铝柱(1)。
地址 730000 甘肃省兰州市城关区北面滩400号