发明名称 |
PTCDA/P-Si异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片 |
摘要 |
本实用新型公开了一种PTCDA/P-S异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片,包括铝电极层、P-Si衬底、PTCDA层和ITO膜,ITO膜的表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的镍柱;镍柱的表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的铝柱。该镍柱和铝柱形成低阻欧姆电极,经测试该低阻欧姆电极的比接触电阻为2.3×10-5Ω.cm2,能有效地改善光电探测器的光电特性,提高光电探测器的稳定性及可靠性。 |
申请公布号 |
CN202094178U |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201120070565.9 |
申请日期 |
2011.03.17 |
申请人 |
甘肃联合大学 |
发明人 |
张旭 |
分类号 |
H01L51/42(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L51/46(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/42(2006.01)I |
代理机构 |
甘肃省知识产权事务中心 62100 |
代理人 |
田玉兰 |
主权项 |
一种PTCDA/P‑Si异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片,包括依次叠层的铝电极层(6)、P‑Si衬底(5)、PTCDA层(4)和ITO膜(3),其特征在于,所述的ITO膜(3)表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的镍柱(2);所述的镍柱(2)表面设有经溅射、光刻和腐蚀后形成的铝柱(1)。 |
地址 |
730000 甘肃省兰州市城关区北面滩400号 |