探针卡的平行调整机构和检查装置

摘要

本发明提供一种能够得到适当的过驱动量和稳定的探针痕、能够使用通用的顶板的探针卡的平行调整机构。本发明的探针卡的平行调整机构是在四角支承顶板(15)的四个位置的支承柱(16)中的4个位置使顶板(15)升降，调整探针卡(12)与在其下方配置的晶片夹具(11)上的晶片W的平行度的机构，包括介设在4个位置的支承柱16与顶板(15)之间的升降机构(17A)，升降机构(17A)具有：以沿着支承柱(16)的上表面能够移动的方式配置的具有倾斜面的移动体(17C)；与顶板(15)连结并且以沿着移动体(17C)的倾斜面能够升降的方式配置的升降体(17E)；和沿着支承柱(16)的上表面使移动体(17C)移动的驱动机构(17F)。

主权项

一种探针卡的平行调整机构，其于在四角支承装载有探针卡的顶板的4个位置的支承柱中的至少三个位置使所述顶板升降，对所述探针卡与配置在其下方的载置台上的被检查体的平行度进行调整，该探针卡的平行调整机构的特征在于：包括介设在所述至少三个位置的支承柱与所述顶板之间的升降机构，所述升降机构具有：以沿着所述支承柱的上表面能够移动的方式配置的具有倾斜面的移动体；与所述顶板连结并且以沿着所述移动体的倾斜面能够升降的方式配置的升降体；和使所述移动体沿着所述支承柱的上表面移动的驱动机构。