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发明名称 THIN FILM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110139079(A) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 KR20100112263 申请日期 2010.11.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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